A vákuumbevonat meghosszabbítja a fogyóeszközök élettartamát a félvezetőiparban, és csökkenti a kamra állásidejét.A bevonóanyagok az olvasztott szilícium-dioxidtól az ittrium-stabilizált cirkóniáig terjednek, a bevonatok optikailag átlátszóak és kémiailag semlegesek.Mindez alacsonyabb fenntartási költséget jelent a karbantartási ciklusok szinkronizálása révén.
Feladás időpontja: 2022. június 16